SWB300型晶圆键合设备薄膜式隔振器如何选型(晶圆键合的作用)

SWB300型晶圆键合设备薄膜式隔振器选型指南

在精密制造领域，振动是影响产品良率的“隐形杀手”。对于SWB300型晶圆键合设备而言，其对微小振动的敏感度极高，因此，选择合适的薄膜式隔振器至关重要。

为何要选薄膜式隔振器？

薄膜式隔振器以其出色的动态性能、高阻尼特性和良好的环境适应性，成为SWB300设备理想的减振方案。它能有效隔离来自地面的低频振动和设备自身的内激振动，确保晶圆键合过程的稳定。

选型关键要素：

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载荷匹配： 务必根据SWB300设备的实际重量，选择承载能力与之匹配的隔振器。过载或欠载都会影响隔振效果。

固有频率： 隔振器的固有频率应远低于设备工作频率，以实现有效的隔振。通常，设备工作频率的1/3或更低是理想选择。

阻尼比： 较高的阻尼比可以快速衰减振动，避免共振。根据设备运行环境的干扰频率，选择合适的阻尼比。

安装空间与连接方式： 考虑隔振器安装所需的空间，以及与设备和地面的连接方式是否便捷可靠。